herunterladen und lesen Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren. pdf

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Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren.

  • Nummer: 270358879650830
  • Autor:
  • Sprache: Deutsche
  • Auswertung: 4.6/5 (Votes: 4176)
  • Taschenbuch: 115 seiten
  • Verfügbarkeit: En stock
  • Formate herunterladen: PDF, EPUB, KINDLE, FB2, AUDIBLE, MOBI und andere.

Produktbeschreibung

Die vorliegende Arbeit zeigt ein grundlegendes und umfassendes Bild über die physikalischen und elektrischen Eigenschaften von ZrO2-basierten Schichten, die über Atomlagenabscheidung hergestellt wurden, als Dielektrikum in planaren Kondensatoren mit TiN als Elektrodenmaterial und bildet die Voraussetzung für die Anwendung dieses Schichtsystems in DRAM Speichern zukünftiger Generationen.

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